芯片光刻胶关键技术被攻克 原材料国产配方自研
发布时间：2024-12-29 18:04:01 作者：玩站小弟 
我要评论
我要评论快科技10月25日消息，据华中科技大学官微消息，近日，该校武汉光电国家研究中心团队，在国内率先攻克合成光刻胶所需的原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。据介绍，其研发的T150A光刻胶系列产
。
快科技10月25日消息，芯片据华中科技大学官微消息，光刻攻克近日，胶关键技该校武汉光电国家研究中心团队，术被在国内率先攻克合成光刻胶所需的原材研原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。料国
据介绍，产配其研发的芯片T150A光刻胶系列产品，已通过半导体工艺量产验证，光刻攻克实现了原材料全部国产，胶关键技配方全自主设计，术被有望开创国内半导体光刻制造新局面。原材研
公开资料显示，料国光刻胶是产配一种感光材料，用于芯片制造的芯片光刻环节，工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时，会在晶圆上涂上光刻胶，在掩膜版上绘制好电路图。
当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光，经过一系列处理后，晶圆上就会得到所需的电路图。
由于光刻胶是芯片制造的关键材料，国外企业对其原料和配方高度保密，目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。
武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。
相较于国外同系列某产品，T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm，且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优，其对刻蚀工艺表现更好，通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀，下层介质的侧壁垂直度表现优异。
团队负责人表示：“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点，最终获得具有自主知识产权的配方技术，这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶，致力于突破国外卡脖子关键技术，为国内相关产业带来更多惊喜。”
相关文章
GODV直播视角 hs直接躺平了 不会心态崩了吧由想吃一个蛋发表在绝地求生 pubg2024-12-29
12月11日消息，一加Ace 5将于本月发布，博主“数码闲聊站”带来了该机的全配置爆料，该机主打2K价位段，在性能、屏幕、设计等方面都做到了同级天花板。一加Ace 5采用直边直2024-12-29
3DM游戏APP于10月23日下午5点在上海颛桥万达影城组织的“毒液”系列电影《毒液：最后一舞》的免费线下观影活动圆满结束。现场为大家准备的周边在《毒液：最后一舞》中，我们见证了埃迪·布洛克Eddie2024-12-29
[流言板]1961年的今天张伯伦砍下78分43板，为当时历史单场最高分
[流言板]1961年的今天张伯伦砍下78分43板，为当时历史单场最高分由篮球资讯发表在篮球资讯 50212月08日讯 NBA官方带领球迷回顾历史上的今天：1961年的今天，张伯伦在费城勇士队147-12024-12-29
12月29日消息，据新华社报道，韩联社29日报道称，韩国务安机场飞机发生坠落，机上载有175名乘客，6名乘务人员。央视新闻报道指出，当地时间12月29日9时7分左右，一架韩国济州航空飞机在全罗南道的务2024-12-29
新一代音乐手机！vivo Y300三扬声器超强外放：音量提升600%
12月11日消息，今日，vivo宣布，vivo Y300将于12月16日发布，主打“超强外放”。vivo Y300除了手机听筒、底部外，还在后摄模组区域塞进了一颗扬声器，形成三2024-12-29
最新评论